伺服阀的故障常常是在电液伺服系统调试或工作不正常情况下发现的。所以这里有时是系统问题包括放大器、反馈机构、执行机构等故障，有时的确是伺服阀问题。所以首先要搞清楚是系统问题，还是伺服阀问题，解决该疑问的常用办法是：
①有条件的将阀卸下，上试验台复测一下即可。
②大多数情况无此条件，这时一个简单的办法是将系统开环，备用独立直流电源、经万用表再给伺服阀供正负不同量值电流，从阀的输出情况来判断阀是否有毛病，是什么毛病。阀问题不大，再找系统问题，例如：执行机构的内漏过大，会引起系统动作变慢，滞环严重，甚至不能工作；反馈信号断路或失常，等等。放大器问题(在下一节单独介绍),下面介绍阀的故障.
(1)阀不工作
原因：马达线圈断线，脱焊；还有进出油口接反。再有可能是前置级堵塞，使得阀芯正好卡在中间死区位置，当然阀芯卡在中间位置这种概率较小。马达线圈串联或并联，两线圈接反了，两线圈形成的磁作用力正好抵消。
(2)阀有一固定输出，但已失控
原因：前置级喷嘴堵死，阀芯被赃物卡着及阀体变形引起阀芯卡死等，或内部保护滤器被赃物堵死。要更换滤芯，返厂清洗、修复。
(3)阀反应迟钝、响应变慢等
原因：系统供油压力降低，保护滤器局部堵塞，某些阀调零机构松动，以及马达零部件松动，或动圈阀的动圈跟控制阀芯间松动。系统中执行动力元件内漏过大，又是一个原因。 此外油液太脏，阀分辨率变差，滞环增宽也是原因之一。
(4)系统出现频率较高的振动及噪声
原因：油液中混入空气量过大，油液过脏；系统增益调得过高，来自放大器方面的电源 噪声，伺服阀线圈与阀外壳及地线绝缘不好，似通非通，颤振信号过大或与系统频率关系引 起的谐振现象，再则是相对低的系统而选了过高频率的伺服阀。
(5)阀输出忽正忽负，不能连续控制，成“开关”控制
原因：伺服阀内反馈机构失效，或系统反馈断开，不然则是出现某种正反馈现象。
(6)漏油
原因：安装座表面加工质量不好、密封不住。阀口密封圈质量问题，阀上堵头等处密封圈损坏。若马达盖与阀体之间漏油，则可能是弹簧管破裂、内部油管破裂等。