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图3-26所示为缸内装有超声波位置传感器的液压缸,能随时测量出活塞位置,适应齿轮泵液压缸活塞位置(或速度)的闭环控制的需要。位置传感器包含一个抗压不锈钢管和传感头,装在活括塞杆上的永磁铁产生超声测量回波。通过测量一个超声脉冲沿着磁致伸缩波导系统的时间,可得到活塞位移的绝对值。此处的超声波位置传感器属非接触式,根据测量电路的不同,分辨率可达0. Imm或 O. Olmm。
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