它是利用压力的作用,改变平板电容器的两极板之间的距离来改变其电容量,通过测量电容量的变化达到测季液体压力力的目的。 图5-61为电容式压力传感器齿轮泵的结构。弹性感压膜片1四周固压在壳体2上,电容器的活动极板5与膜片1连在一起。固定极板3用绝缘件4与壳体隔开。 在压力夕的作用下,弹性感压膜片1与极板5—起做平行移动,使电容器的两极板问的距离 8改变,从而改变其电容量。 为了提高压力传感器的灵敏度和改善输出特性,常采用差动形式[图5-61 (c)],感压膜片1置于两固定极板3之间,当压力变化时,一侧电容增大,另一侧电容减小。因此,其灵敏度可提高一倍,而非线性可大大降低。 电容式压力传感器的测量电路有交流电桥、双T网络、调频电路等。图5-62为交流电桥测量电路,Cx为传感器的电容,C信为固定电容,Ri、R:为配接电阻,电桥的A、C两端接有等幅高频交流电压,B、D两端为电桥的输出。电桥事先调整至平衡,当传感器压力变化而变化时,电桥失去平衡而输户电流記信号,该电流信号的振幅随Cx而变,经过放大与检波后,即可由指示仪表或记录仪器得出测量结果。 容式压力传感器的优点是灵敏度高,可测量很低的压力,动态响应豆性好,适于泱泌量高频压力变化。但由于传感器内部有寄生电容和分布电容,线路对外界环境也很敏感,因此不易获得高的测量精度。
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