压阻式压力传感器是采用半导体材料沿其晶向切取细薄片作为应变片——压力敏感元件所铆制成的压力传感器。半导体材料在某一方向承受压力时,电阻率将发生显著变化,可将P型或N型半导体晶体细薄片作为电阻应变片用胶水牢固地粘贴在能感受压力变化的弹性元件上。’当弹性元件随压力变化而产生应起时,半导体电阻应变片也受压产生壁应变,使其电阻发生变化,电阻值的变化量与弹性元件的应变量成正比。测量此电阻值的变化量便可测出弹性元件的应变量,从而测出压力的大小。 图5-68为压阻式压力传感器结构,被测压力先作用在钢膜片上,通过硅油将压力传给硅膜片,使压敏电阻变化并通过电桥将号输出,从而测出液体压力的大小。钢膜片隔开被测液体和硅膜片,可保护硅片,使其性能稳定。钢膜片和硅油的不可压缩性保证了被测压力可等效传到硅膜片上,它们也不影响传感器的灵敏度、线性和迟滞等性能,只影响零点效应和频率特性。 齿轮泵压阻式压力传感器测压范围宽,精度高,固有频率高,动特性好,重量轻,耐冲矗击振动,因广泛用于生产、科研中。
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