齿轮泵压电式压力传感器是利用晶体的正压电效应制成的传感器。所谓压电效应,是指压电晶体在外载荷(液体压力)的作用下产生机械变形,在其极化面上会产生电荷,且产生的电荷量与外部施加的力成正比,因此测得电荷量便可测出液体压力的大小。 压电效应是一种静电效应,压电元件受力所产生的电荷很微弱,加上其他因素,输出信号很弱,所以传感器的输出信号必须由低噪声电缆引入高输入阻抗的电荷放大器,该放大器是具有深电容负反馈的高增益放大器,其等效电路见图5-69“)。 图5-69 (a)为压电式压力传感器的结构原理。被测液体压力作用在膜片上,膜片将力传给压电晶体,晶体受沿极化方向的力作用后,产生厚度方向的压缩变形,因压电效应产生电荷,再由两极板收集引向测量电路。 压电式压力传感器结构简单,性能优良,测压范围广(lOOPa~60MPa),工作频带宽,耐冲击,可在高温环境下工作,应用较广泛。
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