半导体晶体在受到一个外力作用时，因半导体的阻效应，其内部的电阻会发生大的改变。利用测出电阻改变量制成的齿轮泵压力传感器称半导体传感器，其工作原理如图5-70所示。将硅单晶基板的中央部分腐蚀薄膜状的硅环，再利用IC的扩散工艺制成由四个半导体应变片构成的惠斯通电桥，测量出电阻改变量，便可测出液体的压力。